| 摘要 |
【課題】上層の導波路の径を下層の導波路の径よりも小さくすることなく、下層の導波路の周囲の配線層に凹部が形成されないようにする。【解決手段】固体撮像装置は、フォトダイオードを有する半導体基板と、フォトダイオードの上に設けられた第１の導波路と、第１の導波路の側方に設けられた第１の配線層と、第１の導波路及び第１の配線層の上に連続して設けられた中間層と、中間層を介在させて第１の導波路の上に設けられた第２の導波路と、中間層の上における第２の導波路の側方に設けられた第２の配線層とを備えている。【選択図】図１ |
