Halbleiterstruktur und Verfahren zu deren Herstellung

摘要

Eine Halbleiterstruktur umfasst ein erstes Substrat, ein zweites Substrat, eine erste Sensorstruktur über dem ersten Substrat und zwischen dem ersten Substrat und dem zweiten Substrat, eine Durchkontaktierung, die sich durch das zweite Substrat erstreckt, und eine zweite Sensorstruktur über dem zweiten Substrat und aufweisend eine Verbindungsstruktur, die mit der Durchkontaktierung elektrisch verbunden ist, und ein Sensormaterial, das die Verbindungsstruktur zumindest teilweise bedeckt.