摘要 |
【課題】 加熱安定性に優れ、硬化した際も良好な硬化性を有するフォトレジスト用活性エネルギー線硬化性組成物を提供する。【解決手段】 アクリル系共重合樹脂(A)、アクリル系共重合樹脂(B)、及び光重合開始剤(C)を含有するフォトレジスト用活性エネルギー線硬化性組成物であって、アクリル系共重合樹脂(A)が、側鎖に(メタ)アクリロイル基、及びカルボキシル基を有するアクリル系共重合樹脂であり、アクリル系共重合樹脂(B)が、側鎖に(メタ)アクリロイル基、及びカルボキシル基を有し、前記のアクリル系共重合樹脂(A)とは樹脂骨格が異なるアクリル系共重合樹脂であるフォトレジスト用活性エネルギー線硬化性組成物。【選択図】なし |