成膜装置及び成膜方法

摘要

【課題】電極からの成膜物の剥離が低減された成膜装置及び成膜方法の提供。【解決手段】ワーク１００が格納されるチャンバー１０と、チャンバー１０の内部に配置され、ワーク１００に成膜するために電力が供給される電極２０と、電極２０に堆積した成膜物が電極２０から剥離しないように、ワーク１００に成膜する一連の成膜処理においてワーク１００に成膜する成膜工程と成膜工程以外とで電極２０の温度が略一定であるように電極の温度を調整する温度調整装置３０とを備える成膜装置１。【選択図】図１