圧電素子、インクジェットヘッド、インクジェットプリンタおよび圧電素子の製造方法

摘要

圧電素子としてのアクチュエータは、基板上に、チタン（Ｔｉ）からなる密着層（２４）と、白金（Ｐｔ）からなる下部電極（２５）と、圧電薄膜（２６）と、上部電極とをこの順で形成して構成されている。下部電極（２５）上に、密着層（２４）を構成するＴｉ粒子（２４ａ）が析出している。下部電極（２５）を構成するＰｔの結晶粒径が、７５ｎｍ以上１５０ｎｍ以下である。