ガスセンサ及びガスセンサアレイ

摘要

コンパクトかつ高感度であり、低消費電力（特にエネルギーハーベスティング技術への適用も可能な１μＷ程度以下の低消費電力）で動作するガスセンサの提供。対向する２つの電極の間にガスの接触によって電気伝導度が変化するナノ材料の集合層を介在させたガスセンサであって、静電容量が７ｐＦ未満である、ガスセンサ。