| 摘要 |
【課題】発光部と窓層兼支持基板を有する発光素子において、発光部と窓層兼支持基板の表面のより多くの領域を粗面化することで外部量子効率を高めた発光素子を提供する。【解決手段】発光素子は、発光部が除去された除去部と、除去部以外の非除去部と、該非除去部の第一半導体層の表面上に設けられた第一オーミック電極と、除去部の窓層兼支持基板の表面上に設けられた第二オーミック電極とを有し、第一半導体層の表面及び発光部の側面の少なくとも一部は絶縁保護膜で被覆され、第一半導体層の表面上の第一オーミック電極の形成部以外と、窓層兼支持基板の表面上の除去部における第二オーミック電極の形成部以外と、窓層兼支持基板の側面及び裏面とが粗面化されたものであることを特徴とする発光素子。【選択図】 図１ |
