| 发明名称 |
ｉｎ−ｓｉｔｕスペクトル工程監視 |
| 摘要 |
【課題】センサが製造工程において流動材と共に進む移動プローブの形態をとることにより、工程監視の精度を高めることができる、プローブを提供する。【解決手段】プローブ１は流動材から密閉された外側ハウジング２と、ハウジング内の窓４を通して流動材へと光を伝送する光源６とを含んでいる。空間可変光学フィルタ（ＳＶＦ）７は流動材から戻る光を捕捉し、捕捉した光を、構成波長信号のスペクトルに分離して検出器アレイ８に伝送し、これによって各構成波長信号のパワー読取り値を提供する。【選択図】図２ |
| 申请公布号 |
JP2017049233(A) |
申请公布日期 |
2017.03.09 |
| 申请号 |
JP20160152880 |
申请日期 |
2016.08.03 |
| 申请人 |
ヴァイアヴィ・ソリューションズ・インコーポレイテッドＶｉａｖｉ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ Ｉｎｃ． |
发明人 |
ベンジャミン エフ キャッチング;マーク ケー フォン グンテン;カーチス アール フルスカ;パウラ スミス;ポール ジー クームス |
| 分类号 |
G01N21/84;G01J3/51;G01N21/27;G01N21/85 |
主分类号 |
G01N21/84 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
