发明名称 研磨装置及び研磨方法
摘要 本発明は、様々な形状を有した被研磨加工物を研磨することのできる研磨装置及び研磨方法を提供することを課題とする。研磨装置は、研磨部材(10)の径方向の外周面における接線方向に被研磨加工物(K)を移動させるとともに、研磨部材(10)の回転軸に対して直交する方向に被研磨加工物(K)を移動させるモータ移動機構(33)と、被研磨加工物(K)を回転させる第2モータ(30)とを備える。
申请公布号 JPWO2015050186(A1) 申请公布日期 2017.03.09
申请号 JP20150540534 申请日期 2014.10.02
申请人 株式会社フジミインコーポレーテッド 发明人 森永 均;浅野 宏;大月 伸悟;玉井 一誠
分类号 B24B9/00;B24B41/06;B24B47/20 主分类号 B24B9/00
代理机构 代理人
主权项
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