| 摘要 |
【課題】脆性材料基板に傾斜クラックを形成する新規な手法を提供する。【解決手段】脆性材料基板に傾斜クラックを形成する方法が、脆性材料基板の一方主面に稜線を含む刃先を有するスクライブツールを摺動もしくは転動させることによってライン状の溝部であるトレンチラインを形成するトレンチライン形成工程と、トレンチラインの直下にクラックを発生させるクラック形成工程と、を備え、トレンチライン形成工程においては、ダイヤモンドポイントを水平面内においてトレンチラインの形成進行方向から所定の傾斜角にて傾けた状態で、トレンチラインの直下においてクラックレス状態が維持されるようにトレンチラインを形成し、前記クラック形成工程においてトレンチラインから脆性材料基板の主面に対し傾斜したクラックである傾斜クラックを伸展させるようにした。【選択図】図２ |
