| 摘要 |
蓄積法による漏洩試験において、蓄積した検査ガスを確実に検知できるようにするとともに、バックグラウンドや不純ガスを低減することによって、漏洩試験の信頼性を高める。漏洩試験装置１のチャンバー１０内にカプセル２０の少なくとも開閉可能部２９を収容する。カプセル２０に試験体９を収容する。チャンバー１０内のガスを真空ポンプ３１にて真空排気する。このガスに含まれる検査ガスを検知手段２にて検知する。蓄積時間Ｔａ継続してカプセル２０を密封し、その後、カプセル２０を開放し、開放以降の検知手段２による検知情報に基づいて漏れを評価する。 |
