| 摘要 |
このバックアップピン（９）は、ベースプレート（３）に磁力により固定された状態で基板（２００）を裏面から支持するバックアップピンであって、ベースプレートに固定可能な固定部（９１）と、固定部の内部に配置されるとともに固定部の内部で上昇および下降されるように構成され、固定部を磁力によりベースプレートに固定するための磁石部材（９５）と、磁石部材の上方に配置され、固定部の内部で上昇されることにより磁石部材を磁力により上昇させて固定部とベースプレートとが固定された固定状態を解除する磁性体部材（９４）とを備える。 |
