| 摘要 |
【課題】 搬送トレイに収容させた粉粒体等の被処理物を減圧処理させて熱処理する際に、減圧処理時に搬送トレイに収容された被処理物が搬送トレイから吸引されて排気されたりすることなく、被処理物を効率よく熱処理できるようにする。【解決手段】 搬送トレイ10に収容された被処理物Wを熱処理部23において順々に熱処理させるにあたり、被処理物を収容させた搬送トレイを複数段積層させた状態で減圧処理部21において減圧処理すると共に、減圧処理部において減圧処理された複数段の搬送トレイを搬送トレイ分離部22に搬入させ、この搬送トレイ分離部において、複数段積層させた状態にある搬送トレイから、一部の搬送トレイを分離させて順々に熱処理部に搬送させるようにした。【選択図】 図７ |
