| 摘要 |
【課題】単純な構造を有し、製造が簡便なプラズマ発生部を備え、生体に照射した場合にも火傷が生じ難い低温の大気圧プラズマを照射可能なプラズマ装置及びその使用方法の提供を課題とする。【解決手段】［１］大気圧プラズマ生成用ガスＧが導入される管状誘電体３と、管状誘電体３の内空部において管状誘電体３の軸線方向Ｄ１に延びる、コイル状又は表面に凹凸を有する形状の内部電極４と、管状誘電体３の外側に、内部電極４に沿う外部電極５と、を備えていることを特徴とするプラズマ装置１。［２］外部電極５の形状が、管状誘電体３の外周部を取り巻く筒状であるプラズマ装置１。［３］大気圧プラズマ生成用ガスＧが窒素ガスであるプラズマ装置１。【選択図】図１ |
