| 摘要 |
【課題】ターゲットを加圧する圧力の変動を抑えることで、極端紫外光が集光する位置が変動することにより生じる露光ムラを低減する。【解決手段】ノズル３１から出力される液状のターゲット物質である溶融錫３４を蓄えるタンク３０内のガス圧を圧力調整器４１が備えつけられたガスボンベ４０から供給されるガスの圧力で制御するターゲット供給装置１は、ガスボンベ４０から供給されるガスをタンク３０へ導入するガス流路Ｌ１と、ガス流路Ｌ１上に配置されてガス流路Ｌ１を流れるガスの圧力を調整し、圧力調整器４１よりも高精度の圧力調整が可能な圧力コントローラ５１と、圧力コントローラ５１とタンク３０との間のガス流路Ｌ１に接続された計測用ガス流路に配置された圧力計５３と、タンク３０内の溶融錫３４の温度を一定に制御するヒータ３３とを備え、圧力計５３の測定値をもとに圧力コントローラ５１を制御する。【選択図】図６ |
