| 摘要 |
【課題】配線層間の特性差に起因した測定誤差を抑制し、測定精度を向上させることが可能なトルクセンサを提供する。【解決手段】磁歪特性を有する回転軸２に付与されたトルクを測定するトルクセンサ１であって、２層の配線層２１を有するフレキシブル基板３と、軸方向に対して所定角度傾斜した第１直線部６１を有する第１検出コイル６と、軸方向に対して第１直線部６１と反対方向に所定角度傾斜した第２直線部７１を有する第２検出コイル７と、を備え、配線層２１の一方に第１検出コイル６の一部を形成すると共に、配線層２１の他方に第１検出コイル６の他部を形成し、かつ、配線層２１の他方に第２検出コイル７の一部を形成すると共に、配線層２１の一方に第２検出コイル７の他部を形成し、２層の配線層２１にわたって両検出コイル６，７が形成されるように構成した。【選択図】図２ |
