| 摘要 |
【課題】解像性に優れ、かつ、得られる硬化膜が優れた低誘電率性、腐食耐性および耐薬品性を示す感光性樹脂組成物、感光性樹脂組成物を硬化させてなる硬化膜ならびに硬化膜の製造方法を提供する。【解決手段】一般式（Ｉ）、（ＩＩ）または（ＩＩＩ）で表される構成単位ａを含む重合体Ａと、２−ピロン基を有する構成単位ｂを含む重合体Ｂ１および２−ピロン基を有する化合物Ｂ２からなる群より選択される少なくとも１種の成分Ｂと、エチレン性不飽和基を分子内に２つ以上有する単量体Ｃと、光重合開始剤Ｄと、溶剤Ｅとを含有する、感光性樹脂組成物。ただし上記重合体Ａが２−ピロン基を有する構成単位ｂを含む場合、上記感光性樹脂組成物は上記成分Ｂを含有しなくてもよい。【選択図】なし |
