Ｘ線用金属格子、Ｘ線用金属格子の製造方法、Ｘ線用金属格子ユニットおよびＸ線撮像装置

摘要

本発明のＸ線用金属格子は、複数の第１構造体を周期的に設けた格子領域を備え、前記第１構造体と、前記格子領域における前記複数の第１構造体を除いた第２構造体との間には、空隙が形成される。したがって、上記Ｘ線用金属格子は、平坦性のより高い格子となる。その製造方法は、第１構造体と第２構造体との間に前記空隙を形成する工程を含む。したがって、その製造方法は、平坦性のより高いＸ線用金属格子を製造できる。そして、本発明によれば、このＸ線用金属格子を含むＸ線用金属格子ユニットおよびＸ線撮像装置が提供される。