发明名称 搬送装置、真空装置および荷電粒子ビーム装置
摘要 【課題】搬送距離を十分に確保しつつ小型化できる搬送装置を提供する。【解決手段】搬送装置10は、固定ラック12と、スライダー20と、駆動部15と、基端アーム30と、先端アーム40と、保持部41と、輪列50と、を備えている。輪列50は、固定ラック12に連結された基端歯車53と、固定歯車54と、固定歯車54に連結され、固定歯車54に対する回転数の比が2に設定され、基端アーム30に回転可能に支持されるとともに先端アーム40に固定された先端歯車56と、を備えている。基端アーム30がスライダー20に対して回転することで、保持部41が第2軸O2を挟んで第1方向L1において第1軸O1とは反対側に位置する第1状態と、保持部41が第2軸O2を挟んで第1方向L1において第1軸O1とは反対側に位置し、かつ第1軸O1から見て第1状態における保持部41とは反対側に位置する第2状態と、の間を移行可能とされている。【選択図】図3
申请公布号 JP2017050368(A) 申请公布日期 2017.03.09
申请号 JP20150171529 申请日期 2015.08.31
申请人 株式会社日立ハイテクサイエンス 发明人 荷田 昌克;岩堀 敏行
分类号 H01L21/677;H01J37/20 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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