光増幅ガス媒質の触媒変換

摘要

極端紫外線光システムは、光増幅システムおよび触媒変換システムを含む。光増幅システムの各光増幅器は、増幅された光ビームを生成するガス混合物の形態の利得媒質を含む。光増幅システムは、ガス混合物が中を流れる流体インプットおよび流体アウトプットを含む。触媒変換システムは、光増幅システムの流体アウトプットおよび光増幅システムの流体インプットに流体接続される。触媒変換システムは、ハウジングと、ガス混合物が中を流れることができる開口を含むハウジング内の基板と、基板の開口の内側表面にコーティングとして塗布される触媒であって、金属のナノ粒子を含む触媒とを含む触媒変換器を含む。金属の粒子は貴金属のナノ粒子であってよい。【選択図】図３Ａ