感光性樹脂組成物、感光性エレメント、半導体装置及びレジストパターンの形成方法

摘要

（Ａ）成分：フェノール性水酸基を有する樹脂、（Ｂ）成分：アクリロイルオキシ基、メタクリロイルオキシ基、グリシジルオキシ基及び水酸基から選択される１種以上の官能基を、２つ以上有する脂肪族化合物、（Ｃ）成分：光感応性酸発生剤、ならびに（Ｄ）成分：平均粒子径が１００ｎｍ以下である無機フィラ−、を含有する感光性樹脂組成物。