感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置及び有機ＥＬ表示装置

摘要

耐薬品性を良好にし、比誘電率を低くし、さらにパターンの寸法安定性を良好にすることができる感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置及び有機ＥＬ表示装置の提供。（Ａ）重合体成分、（Ｂ）光酸発生剤、（Ｃ）溶剤を含有し、（Ａ）重合体成分が、（１）（ａ１）酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位、及び（ａ２）架橋性基を有する構成単位を含む重合体（Ａ１）ならびに（２）構成単位（ａ１）を含む重合体（Ａ２）、及び構成単位（ａ２）を含む重合体（Ａ３）の少なくとも一方を含み；（３）重合体（Ａ１）〜（Ａ３）の少なくとも１種が、（ａ４）アルカリ加水分解によってカルボキシル基を生じる基を有する構成単位を含む重合体であるか、（４）さらに、構成単位（ａ４）を含み、かつ、構成単位（ａ１）及び構成単位（ａ２）を含まない重合体（Ａ４）を含み、（Ａ）重合体成分を構成する全構成単位に対して、構成単位（ａ２）の割合が１０〜４０モル％であり、構成単位（ａ４）の割合が１．０〜２０モル％である感光性樹脂組成物。