半導体装置および固体撮像素子

摘要

本技術はより簡単にクラック耐性を向上させることができるようにする半導体装置および固体撮像素子に関する。半導体装置は、Si基板およびそのSi基板上に積層された配線層からなる上側基板と、Si基板およびそのSi基板上に積層された配線層からなり、上側基板と貼り合わされた下側基板とを有している。また、上側基板にはワイヤーボンディング用またはプロービング用のパッドが形成されており、そのパッドから下側基板のSi基板までの間の各配線層には、ワイヤーボンディング用またはプロービング用のパッドの角や辺部分を保護するためのパッドが放射線状に積層されて設けられている。本技術は、固体撮像素子に適用することができる。