| 摘要 |
【課題】パッケージ基板のストリートの中心を切削する。【解決手段】ストリートＳにより区画されたパッケージ基板Ｗを切削ブレード６２でストリートＳの中心に沿って切削する切削装置１を、ストリートＳを挟み隣接する２つのチップＣのうちの、一方のチップＣ１のアライメントマークＭ１から第１のストリートＳ１の幅方向の中心までの第１の距離Ｄ１と、他方のチップＣ２のアライメントマークＭ２からストリートＳ１の幅方向の中心までの第２の距離Ｄ２と、を加算した加算距離に対する第１の距離Ｄ１の割合を算出する算出部５を備え、第ｍのストリートＳｍを挟んで隣接する一方のチップＣｍのアライメントマークＭｍから他方のチップＣｎのアライメントマークＭｎまでの距離Ｌｍと算出した第１の距離の割合とを乗じた値だけ、アライメントマークＭｍの位置からチップＣｎに向けて変位した位置をカットラインの位置とするものとした。【選択図】図４ |
