| 摘要 |
層間絶縁膜の形成にフォトリソグラフィを用いることなく層間絶縁膜に欠陥の少ない薄膜トランジスタアレイを提供する。薄膜トランジスタアレイは、少なくとも、絶縁基板１０と、ゲート電極１１と、ゲート絶縁膜１２と、ソース電極１３Ｂと、ドレイン電極１４と、半導体層１５と、半導体層１５を覆う保護層１６と、画素電極１８と、ドレイン電極１４と画素電極１８の間に形成された層間絶縁膜１７とを備える。層間絶縁膜１７は、有機膜、又は、有機と無機の混合膜であり、画素電極１８をドレイン電極１４に接続するために、層間絶縁膜１７は、ドレイン電極１４が形成された箇所の一部にビアホール４０を有し、ドレイン電極１４は、ビアホール４０内に位置して電極材に開口が形成された開口部を有し、ビアホール４０内のドレイン電極１４上にチオール基またはジスルフィド基が存在する。 |
