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发明名称 ガス注入装置
摘要 【課題】ＦＯＵＰにガスを充填する際、大気が侵入するのを防止するガス注入装置を提供する。【解決手段】不活性ガスを供給するガス供給口７２と、ガス供給口７２に連通するガス流路７７とを有するノズル本体７１と、ガス供給口７２を閉止する開閉機構９２と、開閉機構９２により閉止されたガス供給口７２を開放する開放手段９６とを備えた。【選択図】図６
申请公布号 JP2017050517(A) 申请公布日期 2017.03.09
申请号 JP20150175192 申请日期 2015.09.04
申请人 シンフォニアテクノロジー株式会社 发明人 河合 俊宏;谷山 育志;小宮 宗一;重田 貴司
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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