发明名称 保管設備
摘要 【課題】収納容器のそれぞれを不活性ガスでパージ可能に構成された保管設備において、収納効率を向上させる。【解決手段】保管設備は、複数の収納部(S)を有する保管棚(2)と、収納部(S)に収納されている容器に不活性ガスを供給するガス供給部(5)とを備える。保管棚(2)において、支柱(20)が左右両端部及び隣り合う収納部(S)どうしの間に設置され、載置部(30)が隣り合う支柱(20)に固定されている。ガス供給部(5)に含まれる縦配管(52)のそれぞれが、当該縦配管(52)による不活性ガスの供給先の載置部(30)が固定されているいずれか一方の支柱(20)に固定されている。【選択図】図4
申请公布号 JP2017050425(A) 申请公布日期 2017.03.09
申请号 JP20150173251 申请日期 2015.09.02
申请人 株式会社ダイフク 发明人 大森 和哉;河村 真輔
分类号 H01L21/673;B65G1/00 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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