发明名称 カンチレバー取付治具およびそれを備えた走査型プローブ顕微鏡
摘要 カンチレバーホルダにカンチレバーを容易に取り付けることのできるカンチレバー取付治具を提供する。カンチレバー1が上面に載置される取付台21aと、カンチレバー1を取付台21aの上面に押し付ける押付部材21bと、押付部材21bを取付台21aの上面から上方に移動させるための押上機構21cとを有するカンチレバー取付治具100であって、取付台21aに向かってカンチレバー1を滑らせるための滑面121を有する滑台120と、取付台21aが滑台120に対して所定位置となるように、カンチレバーホルダ20を水平方向において固定するベース部110と、ベース部110に固定されたカンチレバーホルダ20を下方に押圧するための押圧部130とを備える。
申请公布号 JPWO2015064123(A1) 申请公布日期 2017.03.09
申请号 JP20150544820 申请日期 2014.03.26
申请人 株式会社島津製作所 发明人 粉川 良平
分类号 G01Q70/02 主分类号 G01Q70/02
代理机构 代理人
主权项
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