| 摘要 |
【課題】 本発明は、構造が簡単であって、１３０℃以上の高温でも使用できる渦流量計用センサーユニットを提供する。【解決手段】 本発明は流路内を流れる流体の流量を測定する渦流量計用センサーユニット７０に関するもので、溝形状で延長形成された前面導入管連結路７１と、前面導入管連結路と連通して前面導入管連結路と直交する方向の一方の方向に延長形成された第１側面導入管連結路７２と、前面導入管連結路と連通して前面導入管連結路と直交する方向の他方の方向に延長形成された第２側面導入管連結路７３と、第１側面導入管連結路と第２側面導入管連結路内にそれぞれ配置されるセンサー７５ａ、７５ｂ、７５ｃ、７５ｄと、を含む。【選択図】図３ |
