| 摘要 |
プローブ作動システムは、プローブの位置または角度を測定して検出信号を生成するように構成される検出システムを備える。照射システムは、プローブを照射するように構成される。プローブの照射を変動させることによって、プローブを変形させ、これによって今度は検出信号を変動させる。プローブ制御装置は、時間と共に変動する目標値を生成するように構成される。フィードバック制御装置は、検出信号および目標値に従ってプローブの照射を変動させ、検出信号が目標値に向けて制御されるように構成される。プローブ制御装置は、入力として、検出信号および目標値を受信するが、従来のフィードバック・システムと異なり、この目標値は時間と共に変動する。そのように時間と共に変動する目標値により、プローブが、所定の速度で軌道を辿るように制御されることが可能になる。プローブの位置または角度が測定されて検出信号が生成され、目標値は、プローブの目標位置または角度を表す。 |
