发明名称 エンコーダ用スケール、エンコーダ、駆動装置及びステージ装置
摘要 【課題】磁気検出部に対して強い磁場を形成させることによりエンコーダ用スケールを小さくすることができ、エンコーダを小型化する。【解決手段】回転軸AXを中心として回転する基板10を有し、回転軸AXと交差する基板10の第1面10aに、回転方向Dに沿った光学パターン33を備えるエンコーダ用スケールSであって、第1面10aと異なる基板10の第2面10bに、回転軸AXを挟んで異なる磁極(N極M1n、S極M1s)に設定される第1磁石M1を備え、第1面10aに、第1磁石M1のそれぞれのN極M1n、S極M1sとの間で磁場を形成する第2磁石M2を備える。
申请公布号 JPWO2015050109(A1) 申请公布日期 2017.03.09
申请号 JP20150540501 申请日期 2014.09.30
申请人 株式会社ニコン 发明人 三橋 雄一
分类号 G01D5/245;G01D5/347;H01L21/68 主分类号 G01D5/245
代理机构 代理人
主权项
地址