ペリクル、ペリクル付フォトマスク及び半導体素子の製造方法

摘要

本発明は、ペリクル枠と、ペリクル枠の一端面（２ｅ）に張設されたペリクル膜（３）と、ペリクル枠の他端面（２ｆ）に付着した非架橋型のアクリル系粘着剤（１０）とを備え、前記非架橋型のアクリル系粘着剤（１０）における重量平均分子量８００以下の化合物の含有量が１８質量％以下であるペリクルに関する。本発明によれば、マスクからペリクルを剥離した時の糊残りを十分に防止することができる。