統合型半導体排ガス浄化装置

摘要

【課題】バーナーと反応器およびスクラバーを一体型に統合することによって、装置の小形化を図ると共に、定期的なメンテナンスの容易性と省エネルギ性を向上することができる統合型半導体排ガス浄化装置を提供する。【解決手段】には火炎を発生させるバーナー３が装着され、バーナ３ーの外周に排ガスが流入される多数の排ガス流入管２２が形成されたカバー２と、カバー２にバーナー３と排ガス流入管２２が形成され、内部には排ガスを燃焼させるように燃焼空間を有するテーパー状の収束部材４２と、内部に水膜が形成されて副産物の堆積を防ぐ収束部材４２の頂点に通じるように垂直に配置される移送管４４が形成されて流入された排ガスが燃焼して排出される反応器４と、を含んでおり、反応器４の内部には移送管４４の外周面に隔壁部材６２が螺旋状に形成され、反応器４の内部に洗浄水が噴射されて湿式洗浄される。【選択図】図１