| 摘要 |
【課題】リフトピンの高さ位置を短時間で正確に位置合わせできる基板処理装置を提供する。【解決手段】 制御部５０の駆動制御部５１から、リフトピン装置の駆動部にモータの駆動指令を発する。この駆動指令を受け、モータが、指令パルスに応じた回転速度及びトルクで回転駆動し、リフトピンを上昇駆動させる。当接検知部５３は、サーボアンプからの出力値を監視する。例えば、サーボアンプ内の偏差カウンタにおける指令パルスの積算値である溜りパルスの絶対値がしきい値を超えた場合に、リフトピンの先端が、載置物の下面に当接したと判定する。【選択図】図４ |
