| 摘要 |
【課題】複数のミラー膜が所定の面間隔で平行に形成された光学素子を、簡易かつ精度良く製造する。【解決手段】複数のミラー膜が所定の面間隔で平行に形成された光学素子の製造方法であって、平行平面基板の一方あるいは両方の表面を部分的に除去して複数の微小突起（エンボス）を設けてエンボス付基板を用意し、ミラー膜の間に前記エンボス付基板を介在させて複数のミラー膜を積層させる。回折格子の製造方法としては、平行平面基板の一方の表面を部分的に除去して複数の微小突起を設ける工程と、前記平行平面基板の他方の面にスパッタリング法によりミラー膜を設ける工程と、を含む、複数の微小突起およびミラー膜付基板を複数用意する工程と、当該複数の基板を、複数の微小突起が設けられた面とミラー膜が設けられた面とが接触するように積層する工程と、を有する。本製造方法はエタロン（ファブリ・ペロー干渉計）の製造にも適用可能である。【選択図】図１ |
