一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法

摘要

本发明提供一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，包括以下步骤：1）清洗基底表面；2）采用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层氧化锌种子层；3）在基底上采用水热法生长氧化锌纳米线阵列；4）再将基底清洗并干燥后，形成棒状氧化锌纳米线阵列；5）采用原子层沉积工艺在基底表面再沉积一层氧化锌种子层；6）重复步骤3）‑4），形成树枝状的氧化锌纳米线阵列。本发明提供的一种树枝状氧化锌纳米线阵列的制备方法，制备温度低，纳米树枝结构均匀性好、致密性好，适用于非平面或具备复杂结构的基底，简单可行。

主权项

一种氧化锌纳米线阵列的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1)清洗基底表面；2)采用原子层沉积工艺在基底表面沉积一层氧化锌种子层；3)在基底上采用水热法生长氧化锌纳米线阵列；4)再将完成步骤3)的基底清洗并干燥后，形成棒状氧化锌纳米线阵列；5)采用原子层沉积工艺在完成步骤4)的基底表面再沉积一层氧化锌种子层；6)重复步骤3)‑4)，形成树枝状的氧化锌纳米线阵列；步骤3)中，所述水热法是将基底浸没于氧化锌的前驱体水溶液中，密封，加热控温后生长氧化锌纳米线阵列；所述水热法的反应条件为：加热温度：80‑95℃，生长时间：0.5‑6h；所述氧化锌的前驱体水溶液，按每1000g溶液计，包括以下组分：硝酸锌4.6‑7.45g；六亚甲基四胺3.5‑5.5g；聚醚酰亚胺2.8‑4g；余量为水；步骤2)或5)中，所述原子层沉积工艺选自热型原子层沉积工艺或等离子增强型沉积工艺中的一种；所述热型原子层沉积工艺的反应条件为：前驱体：二乙基锌和水；沉积衬底温度：室温‑200℃；每个沉积循环的沉积厚度：0.1‑0.15nm；沉积循环次数：30‑1500次；所述等离子增强型沉积工艺的反应条件为：前驱体：二乙基锌和氧气；沉积衬底温度：室温‑150℃；每个沉积循环的沉积厚度：0.09‑0.15nm；沉积功率：100‑150W；沉积循环次数：30‑2200次。