复合氧化物烧结体及氧化物透明导电膜

摘要

本发明提供能够得到在较宽的波长区域显示更低的光吸收特性、且低电阻的氧化物透明导电膜的复合氧化物烧结体、及氧化物透明导电膜。本发明提供复合氧化物烧结体，其特征在于，为具有铟、锆、铪及氧的复合氧化物烧结体，在将铟、锆及铪的含量分别设为In、Zr、Hf时，构成该烧结体的元素的原子比为：Zr/(In+Zr+Hf)＝0.05～4.5at％，Hf/(In+Zr+Hf)＝0.0002～0.15at％。

主权项

一种复合氧化物烧结体，其特征在于，其具有铟、锆、铪及氧作为构成元素，在将铟、锆及铪的含量分别设为In、Zr、Hf时，构成该烧结体的元素的原子比为：Zr/（In+Zr+Hf）=0.05~4.5at%Hf/（In+Zr+Hf）=0.0002~0.15at%，所述复合氧化物烧结体中的铟含量相对于金属元素总计为95at%以上。