| 发明名称 | 一种片盒精度的控制装置及控制方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种片盒精度的控制装置，包括运动单元、导向单元、动力单元及检测单元，当片盒被放置在片库上时，所述运动单元沿所述导向单元压缩所述动力单元至所述检测单元的触发范围，根据所述检测单元的触发情况判断所述片盒是否正确地放置于所述片库上。 | ||
| 申请公布号 | CN106611720A | 申请公布日期 | 2017.05.03 |
| 申请号 | CN201510681240.7 | 申请日期 | 2015.10.21 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 黄明;王邵玉 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅 |
| 主权项 | 一种片盒精度的控制装置，其特征在于，包括运动单元、导向单元、动力单元及检测单元，当片盒被放置在片库上时，所述运动单元沿所述导向单元压缩所述动力单元至所述检测单元的触发范围，根据所述检测单元的触发情况判断所述片盒是否正确地放置于所述片库上。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||