发明名称 |
SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0429365(A) |
申请公布日期 |
1992.01.31 |
申请号 |
JP19900134735 |
申请日期 |
1990.05.24 |
申请人 |
ENU EMU BII SEMIKONDAKUTAA:KK |
发明人 |
SATO YOSHINORI;MASUDA YUTAKA |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/8242;H01L23/52;H01L27/10;H01L27/108 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|