发明名称 SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH0429365(A) 申请公布日期 1992.01.31
申请号 JP19900134735 申请日期 1990.05.24
申请人 ENU EMU BII SEMIKONDAKUTAA:KK 发明人 SATO YOSHINORI;MASUDA YUTAKA
分类号 H01L21/3205;H01L21/8242;H01L23/52;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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