| 发明名称 | 氟化钇喷涂材料、氧氟化钇沉积的制品和制备方法 | ||
| 摘要 | 氟化钇喷涂材料包含Y<sub>5</sub>O<sub>4</sub>F<sub>7</sub>和YF<sub>3</sub>并具有10‑60μm的平均粒度和1.2‑2.5g/cm<sup>3</sup>的堆积密度。所述氟化钇喷涂材料中的Y<sub>5</sub>O<sub>4</sub>F<sub>7</sub>和YF<sub>3</sub>由30至90重量％的Y<sub>5</sub>O<sub>4</sub>F<sub>7</sub>和余量的YF<sub>3</sub>组成。通过大气等离子体喷涂所述喷涂材料获得氧氟化钇的喷涂的涂层。 | ||
| 申请公布号 | CN106609347A | 申请公布日期 | 2017.05.03 |
| 申请号 | CN201610918492.1 | 申请日期 | 2016.10.21 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | 发明人 | 高井康;浜谷典明 |
| 分类号 | C23C4/04(2006.01)I;C23C4/134(2016.01)I | 主分类号 | C23C4/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 杜丽利 |
| 主权项 | 包含Y<sub>5</sub>O<sub>4</sub>F<sub>7</sub>和YF<sub>3</sub>的氟化钇喷涂材料，所述Y<sub>5</sub>O<sub>4</sub>F<sub>7</sub>和YF<sub>3</sub>由30至90重量％的Y<sub>5</sub>O<sub>4</sub>F<sub>7</sub>和余量的YF<sub>3</sub>组成，并且喷涂材料具有10至60μm的平均粒度和1.2至2.5g/cm<sup>3</sup>的堆积密度。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||