一种激光封装系统及激光封装过程中温度控制的方法

摘要

本发明提供一种激光封装系统及激光封装过程中温度控制的方法，所述激光封装系统包括：一玻璃基板，在所述玻璃基板上布置有用于密封玻璃基板的玻璃粉图案；一激光器，用于提供一激光束；一扫描振镜，控制所述激光束运动，将所述激光束投射至所述玻璃粉图案处；一工件台，用于支撑所述玻璃基板；一控制模块，检测所述激光束相对所述玻璃基板的运动速度，并根据所述运动速度控制所述激光器以改变所述激光束的功率，使得投射至所述玻璃粉图案上各处的光斑的温度均匀。与现有技术相比，本发明省略了现有技术方案中的高温计，降低了激光封装的成本；且无需对现有系统中的激光束做形状、尺寸或光强分布的改变，降低系统的复杂性。

主权项

一种激光封装系统，其特征在于，包括：一玻璃基板，在所述玻璃基板上布置有用于密封玻璃基板的玻璃粉图案；一激光器，用于提供一激光束；一扫描振镜，控制所述激光束运动，将所述激光束投射至所述玻璃粉图案处；一工件台，用于支撑所述玻璃基板；一控制模块，检测所述激光束相对所述玻璃基板的运动速度，并根据所述运动速度控制所述激光器以改变所述激光束的功率，使得投射至所述玻璃粉图案上各处的光斑的温度均匀。