四驱双面晶片磨光机

摘要

四驱双面晶片磨光机，该双面打磨机由下打磨装置和上打磨装置构成，上打磨装置的气缸下方通过转动连接头安装有压盘和上磨盘，在压盘中间加工有联动孔，下打磨装置的外转盘上安装传动柱Ⅰ、下托盘上安装下磨盘，内转盘上安装有传动柱Ⅱ，联动轴上安装有连接头，它们分别用电机Ⅰ、电机Ⅱ、电机Ⅲ和电机Ⅳ带动，压盘用联运轴上的连接头带动，晶片定位衬垫上加工有晶片放置孔，放置在下磨盘上，晶片定位衬垫的边齿与传动柱Ⅰ和传动柱Ⅱ分别卡合。采用本技术，传动柱Ⅰ和传动柱Ⅱ从两个方向带动晶片定位衬垫在上、下磨盘之间转动，使晶片受到一次磨光；同时，上磨盘和下磨盘转动时，对晶片形成二次磨光，两次磨光工作叠加，使晶片的磨光效率成倍增加。

主权项

四驱双面晶片磨光机，该双面打磨机由下打磨装置和上打磨装置构成，下打磨装置安装在机箱内，上打磨装置安装在机架（9）上，机架（9）安装在机箱（16）上，上打磨装置的气缸（1）竖直安装在机架（9）的横梁上，气缸（1）的活塞杆端头有安装连接板（2），连接板（2）下方安装有压盘（3），压盘（3）下安装有上磨盘（4），在连接板（2）上安装有研磨液槽（44），在压盘（3）上安装有研磨液输送管（42）；其特征在于：在压盘（3）中间加工有联动孔（43），联动孔（43）内加工有齿条，气缸（1）的活塞杆端头用转动连接头（45）固定安装连接板（2），下打磨装置由外转盘（12）、下托盘（37）、下磨盘（36）、内转盘（39）和联动轴（24）组成，在机箱（16）内的圆环形底座（32）上设计有弧形凹槽导轨Ⅰ（15），中空的外转盘（12）下端的下滚轮（14）安装在弧形凹槽导轨Ⅰ（15）内，在外转盘（12）下部的内壁上加工有内齿圈（13），电机Ⅰ（30）转轴上的齿轮Ⅰ（31）与内齿圈（13）啮合，在外转盘（12）上部的端面外围，竖直安装有间隔均匀的传动柱Ⅰ（11），在外转盘（12）端面上加工有圆形凹槽导轨Ⅱ（34）；在外转盘（12）上安装有圆环形的下托盘（37），下托盘（37）上安装下磨盘（36），在下磨盘（36）上面平放有圆形的晶片定位衬垫（5），在晶片定位衬垫（5）上加工有晶片放置孔（6），在晶片定位衬垫（5）的边缘加工有边齿（10），边齿（10）与传动柱Ⅰ（11）一一对应卡合；在下托盘（37）下面安装有上滚轮（35），上滚轮（35）安装在外转盘（12）上的凹槽导轨Ⅱ（34）内，在下托盘（37）内侧面固定安装有向下的空心圆柱（8），空心圆柱（8）下端外侧加工有下托盘外齿圈（7），下托盘外齿圈（7）与电机Ⅱ（28）转轴上的齿轮Ⅱ（29）啮合；在下托盘（37）中心的圆孔内，设计有圆形的内转盘（39），内转盘（39）上端边缘安装有传动柱Ⅱ（40），内转盘（39）中部下方固定安装有空心连接柱（38），空心连接柱（38）的下段外侧加工有连接柱外齿圈（27），连接柱外齿圈（27）与电机Ⅲ（20）转轴上的齿轮Ⅲ（19）啮合，传动柱Ⅱ（40）与晶片定位衬垫（5）的边齿（10）一一对应卡合，空心连接柱（38）的下端安装有内滚轮（21），内滚轮（21）安装在固定座（23）上端的环形凹槽导轨Ⅲ（22）内；内转盘（39）的空心连接柱（38）内安装有联动轴（24），联动轴（24）顶端设计有连接头（41），连接头（41）上加工有齿槽，连接头（41）上的齿槽与压盘（3）的联动孔（43）上的齿条对接，联动轴（24）下端安装有皮带轮（25），皮带轮（25）与电机Ⅳ（26）通过皮带连接，内转盘（39）的上端用轴承固定在联动轴（24）上，联动轴（24）下端用轴承固定在固定座（23）上。