一种蚀刻机除垢方法

摘要

本发明涉及一种蚀刻机除垢方法，包括：1、除垢零件浸泡于由9%—26%的盐酸和10%‑38%硫酸组成的混合酸液中，温度20‑25℃，时间0.5小时，然后用自来水第一次冲洗，清洗至pH=6‑9；2、除垢零件浸泡于10%‑35%的强碱溶液中，温度25‑30℃，时间2小时，然后用自来水第二次冲洗，清洗至pH=6‑9；3、再用步骤一的混合酸液对除垢零件浸泡，温度20‑25℃，时间0.5小时，然后用自来水第三次冲洗，清洗至pH=6‑9。本发明的优点在于，除垢时间短，仅3.5小时，除垢效果由之前的65%左右提升到95%以上。除垢过程中对管道及它与酸液接触设备部件无损伤，对玻璃的蚀刻速度和蚀刻质量有了很好的提高。

主权项

一种蚀刻机除垢方法，其特征在于它包含如下步骤：1）、混合酸液浸泡，混合酸液是由质量百分比为9 %— 26 % 的盐酸和10 %‑38 % 硫酸，按体积比1:2 比例混合配制组成，除垢零件浸泡于混合酸液中，温度控制在20‑25℃之间，浸泡0.5 小时，浸泡过程中采用泵循环酸液，酸浸泡结束后用自来水进行第一次冲洗，清洗至pH=6‑9 之间；2）、碱液浸泡，碱液为质量百分比为10 %‑35 % 的强碱溶液，除垢零件浸泡于强碱溶液中，温度控制在25‑30℃之间，浸泡2 小时，浸泡过程中采用泵循环碱液，浸泡结束后用自来水进行第二次冲洗，清洗至pH=6‑9 之间；3）、再用步骤一的混合酸液对除垢零件浸泡，浸泡温度控制20‑25℃之间，在泵循环流动作用下浸泡0.5 小时，浸泡结束后用自来水进行第三次冲洗，清洗至pH = 6‑9 之间。