| 发明名称 | 一种实现运动台定位的装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种实现运动台定位的装置及方法，所述装置包括：基准板，所述基准板上设有测量标记；照明光源，用于照亮所述测量标记；图像传感器，用于得到所述测量标记的成像信息；反射单元，将照亮所述测量标记后的光反射至所述运动台，经所述运动台后再反射至所述图像传感器；及控制单元，处理所述测量标记的成像信息，得到所述运动台的位置信息，对所述运动台进行定位。与现有技术相比，本发明具有结构简单、捕获精度高等特点。 | ||
| 申请公布号 | CN106610570A | 申请公布日期 | 2017.05.03 |
| 申请号 | CN201510681592.2 | 申请日期 | 2015.10.21 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 沈鑫 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅 |
| 主权项 | 一种实现运动台定位的装置，其特征在于，包括：基准板，所述基准板上设有测量标记；照明光源，用于照亮所述测量标记；图像传感器，用于得到所述测量标记的成像信息；反射单元，将照亮所述测量标记后的光反射至所述运动台，经所述运动台后再反射至所述图像传感器；及控制单元，处理所述测量标记的成像信息，得到所述运动台的位置信息，对所述运动台进行定位。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||