发明名称 一种高均匀性的红光LED 外延结构
摘要 本实用新型涉及一种高均匀性的红光LED外延结构,包括由下而上依次设置的GaAs衬底、AlGaAs缓冲层、GaAs缓冲层、AlGaAs/AlAs DBR、AlInP N限制层、AlGaInP N波导层、MQW量子阱有源层、AlGaInP P波导层、AlInP P限制层、GaP窗口层。本实用新型通过在生长GaAs缓冲层之前生长AlGaAs缓冲层,将表面氧化层通过AlGaAs缓冲层进行分解吸收,最大程度的减少了衬底表面氧化层对后续外延结构的影响。
申请公布号 CN206148463U 申请公布日期 2017.05.03
申请号 CN201621095913.7 申请日期 2016.09.30
申请人 山东浪潮华光光电子股份有限公司 发明人 张雨;田菲菲;王朝旺;徐现刚
分类号 H01L33/12(2010.01)I;H01L33/30(2010.01)I 主分类号 H01L33/12(2010.01)I
代理机构 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人 杨树云
主权项 一种高均匀性的红光LED外延结构,其特征在于,包括由下而上依次设置的GaAs衬底、AlGaAs缓冲层、GaAs缓冲层、AlGaAs/AlAs DBR、AlInP N限制层、AlGaInP N波导层、MQW量子阱有源层、AlGaInP P波导层、AlInP P限制层、GaP窗口层。
地址 261061 山东省潍坊市高新区金马路9号