| 主权项 |
1.一种电子束装置包括阴极(32)、未乃耳特圆柱( 2.36 )、阳极( 3.51 ),以及光电系统用于调整并调变阴极所放射之电子束(18),其特征为未乃耳特圆柱与阳极间相关位置之置定,是经由电气绝缘中间片(46)将阳极安装在支撑物(48)上,支撑物固定连接于未乃耳特圆柱支撑物( 40.42 )上。2.根据上述请求专利部份第1 项所述之电子束装置,其特征为电气绝缘中间片为圆柱形,安装于未乃耳特圆柱支撑物与阳极支撑物之间。3.根据上述请求专利部份第1 或2 项所述之电子束装置,其特征为电气绝缘中间片系由陶瓷制成。4.根据上述请求专利部份前述任何一项内所述之电子束装置,其特征为阳极板呈杯状,面向未乃耳特圆柱。5.根据上述请求专利部份前述任何一项内所述之电子束装置,其特征为未乃耳特板呈杯状,面向阳极。6.根据上述请求专利部份前述任何一项内所述之电子束装置,其特征为未乃耳特圆柱与阳极间之距离小于大约2.5mm。7.根据上述请求专利部份前述任何一项内所述之电子束装置,其特征为阳极包括至少两个相连之阳极内径( 52.56 )。8.根据上述请求专利部份前述任何一项内所述之电子束装置,其特征为阳极内径系置于阳极板内,该阳极板可予装卸。9.根据上述请求专利部份前述任何一项内所述之电子束装置,其特征为该装置可用于作业之阳极电压最大约为5KV。10.根据上述请求专利部份第7 至9 项任何一项内所述之电子束装置,其特征为阳极内径戈大小可使电子束通过阳极内径后,束内电子之相互入用大为降低。 |
