一种清洗液供给装置及清洗液供给方法

摘要

本发明提供一种清洗液供给装置及清洗液供给方法。装置包括：用于存放清洗液的水箱、输送管路、回收管路、质量检测器、水箱清洁器以及控制器；所述水箱的输出端通过输送管路与用于清洗基板的清洗室的输入端连接，从而通过该输送管路向清洗室输送清洗液；所述水箱的输入端通过所述回收管路与所述清洗室的输出端连接，从而通过该回收管路回收清洗室使用后的清洗液；所述质量检测器用于对所述水箱的清洗液进行质量检测，并生成一检测结果；其中，若所述检测结果不符合预设要求，则所述控制器用于关闭所述输送管路以及回收管路，并控制所述水箱清洁器对所述水箱进行清洁。本发明的方案能够在不影响基板清洗效果的前提下，循环使用清洗液。

主权项

一种清洗液供给装置，其特征在于，包括：用于存放清洗液的水箱、输送管路、回收管路、质量检测器、水箱清洁器以及控制器；所述水箱的输出端通过所述输送管路与用于清洗基板的清洗室的输入端连接，从而通过该输送管路向清洗室输送清洗液；所述水箱的输入端通过所述回收管路与所述清洗室的输出端连接，从而通过该回收管路回收清洗室使用后的清洗液；其中，所述水箱包括：第一缸体、第二缸体、第一活塞、第二活塞、活塞杆以及电机；所述第一活塞设置在所述第一缸体内部，形成一存放清洗液的第一腔室，所述第二活塞设置在所述第二缸体内部，形成一存放清洗液的第二腔室；所述第一活塞和所述第二活塞固定在所述活塞杆的两端，所述活塞杆由所述电机驱动，从而能够沿第一腔室和第二腔室的轴向进行滑动；所述第一腔室和第二腔室均设置有与所述输送管路连接的输送口，以及与所述回收管路连接的回收口；所述质量检测器用于对所述水箱的清洗液进行质量检测，并生成一检测结果；其中，若所述检测结果不符合预设要求，则所述控制器用于关闭所述输送管路以及回收管路，并控制所述水箱清洁器对所述水箱进行清洁。