磁性退火装置

摘要

在本发明的磁性退火装置中，隔着开闭门形成有用于输送收纳有一组被处理体的收纳容器的收纳容器输送区域和用于输送被处理体的被处理体输送区域，磁性退火装置具有控制部，在收纳容器输送区域内配置有：第1载置台；多个第2载置台；保存部；以及收纳容器输送机构，其用于在第1载置台、第2载置台以及保存部之间输入、输出收纳容器；在被处理体输送区域内配置有：对准器；被处理体保持部件；被处理体输送机构，其用于在载置于第2载置台的收纳容器、对准器以及被处理体保持部件之间输送被处理体；加热部件；磁场产生部件；以及移载机构，其用于将保持于被处理体保持部件的被处理体移载到磁场产生部件内。

主权项

一种磁性退火装置，在磁性退火装置中，隔着开闭门形成有用于输送收纳有一组被处理体的收纳容器的收纳容器输送区域和用于输送上述被处理体的被处理体输送区域，该磁性退火装置具有控制部，其中，在上述收纳容器输送区域内配置有：第1载置台，其用于载置被输入到该磁性退火装置的收纳容器；多个第2载置台，其用于载置上述收纳容器，以使得经由上述开闭门从上述收纳容器输送区域向上述被处理体输送区域气密地输送上述被处理体；保存部，其用于保存多个上述收纳容器；以及收纳容器输送机构，其用于在上述第1载置台、上述第2载置台以及上述保存部之间输入、输出上述收纳容器；在上述被处理体输送区域内配置有：对准器，其用于进行多个上述被处理体的对位；被处理体保持部件，其能够保持多组上述被处理体；被处理体输送机构，其用于在载置于上述第2载置台的收纳容器、上述对准器以及上述被处理体保持部件之间输送上述被处理体；加热部件，其用于对上述被处理体进行加热；磁场产生部件，其用于对上述被处理体施加磁场，并具有卧式超导磁体；以及移载机构，其用于将保持于上述被处理体保持部件的上述被处理体移载到上述磁场产生部件内。