电连接装置

摘要

本发明提供电连接装置。其以简单的装置结构缩短到开始测量为止的时间。其包括探针卡(19)和弹性热传导构件(18h)，该探针卡具有形成有用于与电路检验器(11)电连接的布线路(18e)的探针基板(18)及能分别与吸盘顶部(21)上的半导体晶圆(28)的多个连接焊盘(28a)中的各连接焊盘接触的多个探针(18a)，该探针卡能相对于吸盘顶部移动，该弹性热传导构件配置在吸盘顶部的工作面与探针基板之间或工作面上的半导体晶圆与探针基板之间。弹性热传导构件能在多个探针与所对应的多个连接焊盘(28a)非抵接状态下与吸盘顶部的工作面和探针基板、或工作面上的半导体晶圆和探针基板抵接，且能以不妨碍多个探针分别与所对应的连接焊盘抵接方式弹性变形。

主权项

一种电连接装置，该电连接装置具有工作台，该工作台用于将具有多个电极的被检查体保持在工作面上，并且对上述被检查体进行加热或冷却，该电连接装置用于使上述多个电极与电路检验器电连接，其特征在于，该电连接装置包括探针卡和弹性热传导构件，该探针卡具有：探针基板，其以一面与上述电路检验器相对的方式设置，形成有用于与上述电路检验器电连接的导电路；以及多个探针，其以与上述导电路连接的方式设于上述探针基板的另一面，能够与上述工作台上的上述被检查体的上述多个电极中的各自对应的电极接触，该探针卡能相对于上述工作台移动，该弹性热传导构件配置在上述工作台的上述工作面与上述探针基板之间、或者上述工作面上的被检查体与上述探针基板之间，上述弹性热传导构件能够在上述多个探针分别与所对应的上述多个电极非抵接的状态下与上述工作台的上述工作面和上述探针基板、或上述工作面上的被检查体和上述探针基板抵接，并且能够以不妨碍上述多个探针分别与所对应的上述多个电极抵接的方式弹性变形。