发明名称 具有纳米图案的透明衬底及其制造方法
摘要 提供了具有纳米图案的透明衬底及其制造方法,使得能够在所述透明衬底上容易地形成所述纳米图案,并且通过下述方式而具有适用于大型衬底的所述纳米图案:在透明衬底上形成由透明材料构成的树脂层;在所述树脂层上形成至少一个或多个单元图案部分,所述至少一个或多个单元图案部分由第一图案区域和第二图案区域以及在所述第一图案区域与所述第二图案区域之间形成的突出图案构成,在所述第一图案区域和所述第二图案区域中形成有多个网格图案;以及在所述突出图案上形成纳米级金属层。
申请公布号 CN103503114B 申请公布日期 2017.05.03
申请号 CN201280021740.2 申请日期 2012.12.11
申请人 LG伊诺特有限公司 发明人 李俊;刘庆钟;李领宰;金镇秀
分类号 H01L21/027(2006.01)I 主分类号 H01L21/027(2006.01)I
代理机构 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人 许向彤;陈英俊
主权项 一种图案衬底,包括:衬底;形成在所述衬底上的一个或多个单元图案,其中,每个所述单元图案由两个窄图案和形成在所述两个窄图案之间的一个宽图案组成,其中,金属层设置在所述宽图案上而不设置在所述窄图案上,其中,所述窄图案形成有多个网格图案,所述窄图案比所述宽图案要窄,其中,所述宽图案为突出图案,其中,所述图案衬底进一步包括位于所述窄图案或所述宽图案与所述衬底之间的透明层,其中,所述金属层的高度大于所述网格图案之间的间距。
地址 韩国首尔